量子器件实验室

计量院量子器件室的职责是研制具有自主知识产权的计量用核心芯片，实现独立自主的基标准体系源头，从而支撑现代计量基标准，提升我国在计量领域的核心竞争力。截至目前，我室已在量子电阻、量子电压、毫米波功率基标准所需核心芯片的研制工作上取得突破。成功研制 1V 量子电压所需集成约瑟夫森结阵芯片，实现 40 万约瑟夫森结集成，使我国成为继美、日、德后第四个具有此能力的国家。成功研制可用于量子化霍尔电阻国家基准及低磁场量子电阻自然基准的单个量子化霍尔芯片。成功研制 1 kΩ 和 10 kΩ 量子化霍尔阵列芯片。在国际上首次实现 WR-6 毫米波功率基准用原创芯片，用于基准装置及出口美国NIST基准系统。目前及未来研究工作包括：用于单光子及X射线能谱计量基标准的超导边沿探测器（TES）芯片、TES读出电路芯片、RF波段交流量子电压器件、计量用传感器件等。